真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。          

一、真空泵的分类

真空系统是用来获得真空环境的系统，是半导体、科学仪器、化工、制药行业重要的子系统，应用广泛，是真空系统重要的组成部分，是用来产生、改善和维持真空环境的装置，被广泛应用于制药、化工、食品、电子等下游行业，需求量大面广。一般真空泵应用可根据真空度的不同要求和应用领域分为8个类别，包括粗真空、工艺真空、工业真空、半导体、薄膜沉积（除半导体外）、太阳能、仪器制造以及科学研究。对应的产品也各不相同，高/超真空对应低温泵、 分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵等；中真空主要对应干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵；粗/低真空对应单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。目前半导体领域是真空设备应用规模最大的下游市场，占到整个市场规模的38%。

一般按照真空泵的工作原理，可以将其分为气体传输泵和气体捕集泵两种基本类型。气体传输泵主要是通过不断地吸入和排除气体达到抽气目的，气 体捕集泵通过使气体分子被吸附或者凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的。在工业应用领域比较常见的真空泵包括水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵等，但是在高端产品领域进口泵依然更受到市场的欢迎，主要还是由于国产泵在压缩比方面还是略有劣势，这主要是因为外国泵用的合金比国内铸件稳定性高，热胀冷缩也小，里边的间隙可以做得更精密。

二、行业发展概况

近年来国内真空泵行业由于供给侧结构性改革以及国内经济大环境转变带来的影响，一些中小型企业逐步退出市场，由于低端供给过多且传统制造业下游订单数量减少导致我国真空泵产量快速下滑。2017-2020年我国泵及真空设备产业规模以上企业主营业务收入由2212.39亿元下降至1781.4亿元，真空泵产量有1070.93万台下降至526.64万台，其中国内市场需求下降明显。2020年以来真空泵行业结构转型趋势明显，干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵，在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。