分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

尽量避免频繁启停

分子泵在匀速工作时，转子叶片仅受到离心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不计），即远离轴心的方向的拉力；而在加速和减速的时候，叶片还受到转动切线方向的力，相当于对叶片进行弯折的力。显而易见，对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。

另外，分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30 分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。

根据工艺条件选择适当的冷却

分子泵的冷却方式有三种：自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以采用自然冷却；较大的分子泵或者有一定的气体负载时，需要选择强制风冷（风扇冷却）；对于有些负载很大的应用（比如CVD），或者不方便使用风扇的环境（如辐射环境），需要采取水冷。无论采取哪种冷却方式，分子泵工作的环境温度都要保持在 5~35 摄氏度之间，采取水冷时，要采用经过处理的软水，冷却水的温度和流量也要满足说明书的要求。

空挡滑行不可取

分子泵工作时转速很高（数万转/分钟），加减速过程中，不可避免地要经过某些危险的共振频率，长时间在这些共振频率运转，会增加轴承负荷、进而增加分子泵故障的风险。在真空下自然停泵（空挡滑行）时，由于真空下空气阻力很小，分子泵转子要经过几十分钟甚至数小时的时间才能完全停止，其中在共振频率运转的时间也会比较长。

一般建议分子泵停机时，手动或者通过专用充气阀（Vent Valve），通过充气口充入空气/氮气，增加转子阻力使其快速停机；手动充气时，要注意控制充气速度，使停机时间和分子泵启动时间相当（根据泵的大小不同而不同，一般为 3~10 分钟）。