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分子泵使用中的注意事项

分子泵使用中的注意事项

  • 分类:行业动态
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  • 来源:
  • 发布时间:2021-07-28
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【概要描述】分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

分子泵使用中的注意事项

【概要描述】分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

尽量避免频繁启停

分子泵在匀速工作时,转子叶片仅受到离心力的作用(真空下阻力很小可以忽略不计),即远离轴心的方向的拉力;而在加速和减速的时候,叶片还受到转动切线方向的力,相当于对叶片进行弯折的力。显而易见,对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。

另外,分子泵在加速时功率较大,内部发热比较严重,频繁的启停(两次启动间隔<30 分钟)会造成热量累积,使分子泵内部的温度过高,加剧轴承磨损。

根据工艺条件选择适当的冷却

分子泵的冷却方式有三种:自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然冷却;较大的分子泵或者有一定的气体负载时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于有些负载很大的应用(比如CVD),或者不方便使用风扇的环境(如辐射环境),需要采取水冷。无论采取哪种冷却方式,分子泵工作的环境温度都要保持在 5~35 摄氏度之间,采取水冷时,要采用经过处理的软水,冷却水的温度和流量也要满足说明书的要求。

空挡滑行不可取

分子泵工作时转速很高(数万转/分钟),加减速过程中,不可避免地要经过某些危险的共振频率,长时间在这些共振频率运转,会增加轴承负荷、进而增加分子泵故障的风险。在真空下自然停泵(空挡滑行)时,由于真空下空气阻力很小,分子泵转子要经过几十分钟甚至数小时的时间才能完全停止,其中在共振频率运转的时间也会比较长。

一般建议分子泵停机时,手动或者通过专用充气阀(Vent Valve),通过充气口充入空气/氮气,增加转子阻力使其快速停机;手动充气时,要注意控制充气速度,使停机时间和分子泵启动时间相当(根据泵的大小不同而不同,一般为 3~10 分钟)。


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