罗茨真空泵机组是由罗茨真空泵和前级泵串联组成的真空机组。一般抽真空极限可达到真空度2帕到0.02帕。启动罗茨真空泵机组的方法就是将机组连接到被抽容器上后，开启罗茨真空机组冷却水，开启前级泵，然后缓慢打开主阀(一般就是罗茨真空泵的入口阀)，这时罗茨泵开始跟转，待容器真空抽到1000到500帕时(简单的判断方法：罗茨泵不跟转了)，开启罗茨泵，直到你所需要的真空度。

一、罗茨真空泵机组全程操作的注意事项，开机前的准备

1、检查水冲泵(前级泵)水箱液位是否达到水箱的3/4以上，若不足则补足。

2、检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，罗茨真空泵增加水泵叶轮磨损、增大电机负荷造成故障，影响水冲泵使用寿命。

3、检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，必须达油窗的3/4以上，同时检查润滑油的颜色，罗茨真空泵出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。

4、罗茨真空泵检查中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好，打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常。

5、检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭。

6、检查真空泵机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。

7、检查真空泵机组电极触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常(中级泵启动入口压力为0.065Mpa以上，主泵启动入口压力为0.085Mpa以上)。

8、.待以上事项检查完毕确认无误后方可启动真空机组。

二、罗茨真空泵机组启动

1、打开中间泵和主泵循环冷却水进出口阀门，确保循环冷却进出水正常。

2、关闭水冲泵缓冲罐排污阀门，启动水冲泵，待运行正常(电机及泵发出噪声均衡)后，缓慢开启前级水冲泵旁通管道上的阀门和罗茨真空泵进气阀门。

3、待系统压力达到中间泵设定的允许进口压力后，启动中间泵，如过采用自动控制挡，则直接拨到自动控制挡，机组的启动过程则实现自动化。

4、如手动控制，当中间泵出口压力达到主泵允许进口压力后，启动主泵。