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分子泵的特点,分子泵厂家为你讲解

分子泵的特点,分子泵厂家为你讲解

  • 分类:行业动态
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  • 来源:
  • 发布时间:2022-11-11
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【概要描述】分子泵厂家认为分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的总称,是获得高真空和的一种非常常见的设备。分子泵内部有一个高速旋转的转子,支撑转子平稳旋转的轴承承受着很大的载荷。正确使用和及时维护对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作具有重要意义。

分子泵的特点,分子泵厂家为你讲解

【概要描述】分子泵厂家认为分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的总称,是获得高真空和的一种非常常见的设备。分子泵内部有一个高速旋转的转子,支撑转子平稳旋转的轴承承受着很大的载荷。正确使用和及时维护对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作具有重要意义。

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分子泵厂家认为分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的总称,是获得高真空和的一种非常常见的设备。分子泵内部有一个高速旋转的转子,支撑转子平稳旋转的轴承承受着很大的载荷。正确使用和及时维护对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作具有重要意义。

分子泵的特点,分子泵厂家为你讲解

分子泵厂家认为分子泵恒速工作时,转子叶片只受到离心力的作用(真空中的阻力可以忽略不计),即远离轴心方向的拉力;在加速和减速时,叶片还受到旋转切向的力,相当于弯曲叶片的力。显然,弯曲叶片对其疲劳寿命的贡献更大。另外,分子泵在加速时,功率大,内热严重。频繁的启停(两次启动间隔小于30分钟)会造成热量积聚,导致分子泵内部温度过高,加重轴承磨损。

分子泵厂家认为分子泵的冷却方式有三种:自然冷却、强制风冷、水冷。30L/s以下的分子泵可以自然冷却,不需要气体负载。分子泵较大或有一定气体负荷时需要强制风冷(风扇冷却);对于一些重负载的应用(比如CVD),或者风扇不方便使用的环境(比如辐射环境),就需要水冷。无论采用哪种冷却方式,分子泵的工作环境温度都应保持在5-35摄氏度之间。当采用水冷时,应使用经过处理的软水,冷却水的温度和流量也应符合规范要求。

分子泵厂家认为分子泵是利用高速旋转的转子将动量传递给气体分子,使其获得定向速度,然后被压缩,驱动到排气口,由前级抽走的一种真空泵。由于简易牵引泵的型槽开在转子圆筒的外表面或泵的内表面上,所以可以充分利用圆筒外圆较高的线速度来传递气体分子的动量,提高泵的抽气效果。

由于涡轮级的抽气面积大,抽气速度很高,而牵引级的凹槽抽气面积小,在两种结构的连接处,被涡轮叶片压缩的气体分子的流动方式发生突变,使得气体分子的运动在连接处由有序变为无序,导致回流增加,抽气能力下降。

分子泵厂家认为分子泵工作时,转速很高(每分钟几万转)。在加减速的过程中,不可避免地要经过一些危险的共振频率。在这些共振频率下长时间运行会增加轴承负荷,从而增加分子泵失效的风险。当泵在真空下自然停止(空挡滑行)时,由于真空下的空气阻力很小,分子泵的转子完全停止需要几分钟甚至几个小时,在共振频率下的运行时间会更长。


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