分子泵厂家了解到，随着半导体器件的进一步发展，它们的应用越来越广泛。在其他电子器件制造领域，半导体器件或由半导体器件演化而来的器件也得到了不同程度的应用，成为半导体器件应用的一个新领域。尤其是在微纳电子器件、微纳光电系统等尺寸极小、精度非常高的产品中，电子元器件的逐步应用开发具有重要意义。

半导体工艺真空设备主要是用于蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产中容易产生易燃易爆以和有毒的物质气体，这些物质会对生产人员构成完全威胁，所以，分子泵厂家给大家说说在半导体真空泵使用的时候需要注意的一些事项：

1.分子泵厂家建议定期清洗真空泵及其他附件，避免超压

半导体真空泵在抽取介质的时候，经过反应室与真空泵的物质，其成分可能很复杂。如果是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性物质，很可能会堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成泵内压力上升或超压，很危险。分子泵厂家建议要及时的清洗设备及附件，建议安装一个过滤器更好。

2.分子泵厂家建议有效稀释有害气体的浓度

半导体可能会产生易燃易爆、有毒的有害气体。所以在使用半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就需要防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。因此，分子泵厂家建议在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

3.分子泵厂家建议要注意氧气的浓度

空气中的氧气如果浓度过高也会容易引发燃烧及爆炸风险。所以建议采用惰性气体来稀释，防止氧气浓度过高。假设是油封机械泵，可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和油品。

4.分子泵厂家建议要防止温度过高

真空泵在使用的时候，产生的有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有毒气体就会容易导致意想不到的危险。

所以分子泵厂家建议使用真空泵的时候，认真学习上述提到的安全使用事项。