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螺杆真空泵的工作原理

螺杆真空泵的工作原理

  • 分类:行业动态
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  • 发布时间:2021-05-29
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【概要描述】螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种,由于具有抽速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放,以及运行成本低等一系列优点,在半导体、光伏、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到了广泛应用。
目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响,一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽,以及能在恶劣工况下运行的需要,因此,近几年来,干式真空

螺杆真空泵的工作原理

【概要描述】螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种,由于具有抽速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放,以及运行成本低等一系列优点,在半导体、光伏、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到了广泛应用。
目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响,一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽,以及能在恶劣工况下运行的需要,因此,近几年来,干式真空

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螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种,由于具有抽速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放,以及运行成本低等一系列优点,在半导体、光伏、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到了广泛应用。

目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响,一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽,以及能在恶劣工况下运行的需要,因此,近几年来,干式真空泵发展很快,真空获得产品出现了更新换代的局面。

螺杆真空泵的工作原理:由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆,在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间,有一定的间隙,没有任何金属与金属之间的接触。于是,螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入,并排出到排气口。

早期的螺杆真空泵是等螺距,为了降低能耗、降低泵腔内的温度,后来又开发了变螺距的螺杆真空泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼接而成,另一种就是螺距连续变化的螺杆真空泵,螺杆由一个整体材料加工制作而成。

干式螺杆真空泵的特点如下:

1.由于采用变螺距结构,比等螺距螺杆可节省30%的能耗,排气温度较低;

2.被抽气体在泵腔内路程短,并迅速排出;

3.被抽气体在泵腔内很少受到搅动;

4.微小颗粒不容易堆积;

5.可以夹带液体、可凝物和微小颗粒;

6.低振动和低噪声;

7.泵腔内的剩余物容易被清除。


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