螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种，由于具有抽速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放，以及运行成本低等一系列优点，在半导体、光伏、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到了广泛应用。

目前，各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响，一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽，以及能在恶劣工况下运行的需要，因此，近几年来，干式真空泵发展很快，真空获得产品出现了更新换代的局面。

螺杆真空泵的工作原理：由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆，在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间，有一定的间隙，没有任何金属与金属之间的接触。于是，螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入，并排出到排气口。

早期的螺杆真空泵是等螺距，为了降低能耗、降低泵腔内的温度，后来又开发了变螺距的螺杆真空泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼接而成，另一种就是螺距连续变化的螺杆真空泵，螺杆由一个整体材料加工制作而成。

干式螺杆真空泵的特点如下：

1.由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%的能耗，排气温度较低；

2.被抽气体在泵腔内路程短，并迅速排出；

3.被抽气体在泵腔内很少受到搅动；

4.微小颗粒不容易堆积；

5.可以夹带液体、可凝物和微小颗粒；

6.低振动和低噪声；

7.泵腔内的剩余物容易被清除。