1912年，德国分子泵厂家生产了世界上第一台分子泵。它的转子直径为50毫米，转子上开有八个不同大小的槽。转速为12000 r/min，泵送速度约为1.5 L/s，这种泵的工作原理与现代分子泵一致，但由于故障较多，很快被淘汰，未能推广。

早期分子泵厂家生产的分子泵都是牵引分子泵，体积大、泵速低、间隙小、故障多，在应用上受到很多限制，只能在一些特殊领域使用，无法推广。

1957年，德国分子泵厂家生产了一种新型分子泵，命名为涡轮分子泵。泵的结构为卧式，泵腔内设有转子和定子排。气体从位于泵中心的吸入口进入，通过吸入通道流向泵体两侧，被各排压缩，最后从排气口排出。涡轮分子泵转子由19级叶片组成，直径170 mm，转速16000 r/min，泵送速度140l/s。

1966年，法国分子泵厂家研制出转子直径286 mm、转速12000 r/min、泵送速度650 L/s的14级立式涡轮分子泵，开创了立式涡轮分子泵的先河。

中国涡轮分子泵行业起步较早。1964年，上海分子泵厂家成功研制出FW-140卧式涡轮分子泵，填补了我国在该领域的空白。然而，由于磁悬浮技术的设计、加工和应用的不足，涡轮分子泵在我国仍处于落后状态。

目前，现代分子泵厂家生产的分子泵的基本结构基本上是卧式和立式。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀，轴承定位受力状态好，使用寿命长，轴承更换时转子位置固定，维修方便的特点。立式分子泵的装配工艺比卧式分子泵简单，因此近年来分子泵厂家生产的立式分子泵的发展非常迅速。

分子泵自诞生以来，已有近百年的历史。随着各种科学技术的不断进步，分子泵技术也取得了许多创新和突破，现代分子泵正朝着智能化、柔性化、高效化的方向发展。

据分子泵厂家了解，近年来，随着控制理论和计算机技术的快速发展及其在分子泵中的应用，分子泵实现了计算机控制，从而实现了泵的启停和调速的远程控制。同时，基于信息技术，可以建立完善的安全监控系统，使分子泵向智能化发展。

分子泵厂家知道泵速是分子泵的核心参数，提高转速是提高泵速直接的途径之一。随着动平衡技术的发展，分子泵转子能够在超高转速下平稳运行。随着材料科学的发展，分子泵的转子材料也发生了变化，可以采用硬质铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料，进一步提高了转子转速。